A | 当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。
B | 一位中国籍陪读妈妈带着女儿来到新加坡求学，期间她租住了一名单身男子的房间后，两人以“假结婚”的形式成为名义上的夫妻。图源：互联网示意图 不久后男子便病逝，并且在去世前立下了将遗产都留给继妹的遗嘱。
C | 然而，陪读妈妈却向法院提起诉讼，要求争夺组屋，但最终败诉。
SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。
D | 三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。案件的起诉人是男子的中国籍遗孀，而答辩人包括男子的侄儿和遗嘱受益人——男子的继妹。图源：互联网示意图 男子于2015年9月2日去世，遗孀得知遗嘱后入禀法院，声称男子在病重时意识不清，无法理解遗嘱内容。指控有人伪签遗嘱或受到影响，要求法官判定遗嘱无效，主张自己是唯一继承人。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。根据家事法庭的判词，陪读妈妈于2011年带女儿来本地求学，租住在男子位于黄埔的三房式住家的一个房间。 更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。
E | 男子当时已退休，靠出租房间维持生计。
该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。 受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。
F | SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。图源：互联网示意图2013年10月16日，男子与陪读妈妈在家里进行注册结婚，只有陪读妈妈的一对朋友出席作为“证婚人”，男子没有通知任何亲友。 钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。尽管两人婚后同住，但并未同房。男子于2015年7月因呼吸困难住院，病情在两个月内恶化，最终于2015年9月2日去世，享年69岁。医药报告显示他患有糖尿病、高血压，并且心脏疾病加重了他的病情。 300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。 375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。在住院期间，男子私下告诉了一位认识40多年的老朋友，表示他与陪读妈妈是假结婚，两人并未同房。他这样做是为了帮助陪读妈妈继续留在本地，让她的孩子能够继续学习。而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。 图源：互联网示意图男子希望将房子留给经济条件较差的继妹以帮助她。
G | 好友随后找来男子的侄儿和证人解释遗嘱内容，男子同意并签字。 中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。 然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。
H | 基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。
I | 男子去世后，陪读妈妈对遗嘱毫不知情。 爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。其中—— 沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级； 输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送； CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求； 清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入； 刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求； 量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。
J | 该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。她从男子的银行账户中取出了3000多元存款，并以妻子的名义从公积金账户中提取了近4万元的公积金。
（文章来源：科创板日报）。2016年2月，男子的侄儿要求陪读妈妈搬走，称男子已经将房子留给了继妹。陪读妈妈对此表示质疑，并聘请律师入禀法院，试图推翻遗嘱。
K | 图源：互联网示意图 法官审理后认为，男子自愿立下遗嘱，并且明确表示与陪读妈妈是假结婚，不打算将房子留给她，而是想留给过得清苦的继妹。
L | 最终，法院判陪读妈妈败诉。 大家身边有没有发生类似的事情你听过类似的八卦吗？。
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Published on:16:26:59
